欢迎来到镓敏光电科技有限公司!
精准掌控紫外线强度,赋能半导体制造高效固化—APL-UVx-1y 紫外线传感器
在半导体制造与精密材料加工领域,紫外线固化技术因其高效、环保的特性,已成为光刻胶固化、涂层硬化等关键工艺的核心手段。然而,紫外线强度的精准控制直接关系到固化效率和产品质量,这对传感器的灵敏度、稳定性及环境适应性提出了严苛要求。
苏州镓敏光电科技有限公司推出的 APL-UVx-1y 紫外线传感器,凭借其卓越性能与灵活配置,为半导体设备中的 UV 固化工艺提供了全流程解决方案。
核心优势:为半导体工艺量身定制

1.高精度监测,覆盖全波段需求
  
传感器支持 220-440 nm 全紫外线波段检测(UVA/UVB/UVC/UVV 可定制),适配不同固化场景:
    ○ UVA(320-370 nm):适用于光刻胶预固化与低能量涂层硬化;
    ○ UVC(220-290 nm):用于高穿透性材料快速固化,确保深层反应均匀性。

测量范围 0-1000 mW/cm?(标准版),可选扩展至 30 W/cm?,满足高强度光源的精准监控需求。


2.工业级稳定性,无惧严苛环境

  ○ 宽温域运行(-20~100℃):适应半导体设备内部高温环境与车间温度波动;
  ○ 石英光导管 + Teflon 隔热层:耐腐蚀、抗老化,长期暴露于 UV 光源下仍保持性能稳定;
  ○ 多种输出信号(4-20 mA/0-5 V):无缝对接 PLC、SCADA 系统,实现实时数据反馈与闭环控制。


3.灵活配置,提升产线智能化

  ○ 可选配触摸屏辐射计:实时显示紫外线功率密度、光源累计工作时长与输出效率,支持阈值报警与校准功能,简化设备运维;
  ○ Lite 版辐射计 + RS-485 通讯:低成本实现多节点数据采集,助力智能工厂数字化升级;
  ○ 定制化服务:支持电缆长度、测量范围及语言版本(中 / 英文)灵活调整,快速响应客户需求。

应用场景:从实验室到量产线

 ○ 光刻胶固化:实时监控 UV 强度波动,避免因能量不均导致的显影缺陷;
 ○ 晶圆涂层硬化:通过高灵敏度反馈优化照射时间,提升涂层附着力与耐磨性;
 ○ 设备健康管理:记录光源累计工作时长,预判灯管寿命,减少非计划停机。

为何选择 APL-UVx-1y?

  ○ 高性价比:单电源供电(8-24 V DC),简化布线成本;
  ○ 即插即用:预校准设计,缩短设备调试周期;
  ○ 权威认证:制造商镓敏光电深耕光电子领域十余年,技术积累深厚。

结语

在半导体制造迈向更高精度与自动化的今天,APL-UVx-1y 紫外线传感器以精准测量、稳定输出与灵活扩展能力,成为 UV 固化工艺的 “智慧之眼”。无论是实验室研发还是规模化生产,它都能为您的设备赋予更高效的紫外线控制能力,助力企业降本增效,抢占技术制高点。

立即咨询定制方案,开启智能固化新时代!

电话

咨询